EPI-Wäscher

 

Steuerung für EPI-Wäscher

Planen, Programmieren, Liefern und Inbetriebnehmen einer Steuerung für eine aus drei Kammern bestehende Abgasreinigunsanlage einer Epitaxieanlage.
EPI-Wäscher sind speziell auf die bei der Epitaxie entstehenden Prozeßgase abgestimmt.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Die Fertigung der Steuerung und die Anlagenverkabelung wurde von einem Partnerunternehmen durchgeführt.
Als Steuerung wurde eine S7-300 eingesetzt, die Profibus-Anbindung zur Leitwarte erfolgt über einen CP342.

 

 

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